O motivo pelo qual você está recebendo permissão negada é porque os arquivos Spark e starter não têm permissões de execução como visto aqui:
-rw-rw-rw- 1 root root 8528 Jan 20 19:38 Spark
-rw-rw-rw- 1 root root 7520 Jan 20 19:38 starter
Então você precisará executar:
sudo chmod +x /opt/Spark
sudo chmod +x /opt/starter
Não sei por que a permissão de execução foi perdida (desde que você executou chmod +x antes), mas acho que é porque, quando você os moveu para /opt , o proprietário foi alterado de você para raiz.