Você precisa criar o diretório. Então abra um terminal e digite os seguintes comandos:
sudo mkdir /var/run/tor
sudo chown debian-tor:debian-tor /var/run/tor
sudo chmod 2750 /var/run/tor
Este comando cria o diretório e altera o proprietário para debian-tor
. A última linha altera as permissões para os valores corretos.