O problema é o uso de %
aqui:
.../Ubuntu%2064-bit/...
# ^
O SystemD usa %
como palavra-chave para vários especificadores de formato interno e, em ExecStart
(e irmãos), esses especificadores de formato podem ser usados para a substituição dinâmica de valores. Como não é possível interpretar %2
como um especificador adequado, você está recebendo:
Exec format error
Você precisa escapar do %
com outro %
:
.../Ubuntu%%2064-bit/...