O problema é o uso de % aqui:
.../Ubuntu%2064-bit/...
# ^
O SystemD usa % como palavra-chave para vários especificadores de formato interno e, em ExecStart (e irmãos), esses especificadores de formato podem ser usados para a substituição dinâmica de valores. Como não é possível interpretar %2 como um especificador adequado, você está recebendo:
Exec format error
Você precisa escapar do % com outro % :
.../Ubuntu%%2064-bit/...