O Process Explorer da Microsoft seria meu próximo palpite: link . Depois de carregá-lo, clique em Visualizar - > Vista do painel inferior - > Alças Agora, quando você clica em cada um dos processos no Painel superior, você obtém um relatório sobre todos os arquivos e chaves de registro abertos. As chaves são o bit importante.
Ele pode listar muitas informações sobre os processos atualmente em execução e, embora eu não saiba ao certo se ele definitivamente informará qual processo tem a webcam aberta, você poderá obter dicas. Eu apenas tentei isso para o OneNote enquanto gravei um vídeo, e para minha Lifecam VX7000, ele tinha essa chave aberta durante a gravação de um vídeo, o que é quase certo da webcam (especialmente visto que desapareceu quando eu parei de gravar):
HKLM\SYSTEM\ControlSet001\Control\DeviceClasses\{65E8773D-8F56-11D0-A3B9-00A0C9223196}\##?#USB#VID_045E&PID_0723&MI_00#8&27B22E96&0&0000#{65e8773d-8f56-11d0-a3b9-00a0c9223196}\#GLOBAL\Device Parameters
Não sei qual será o seu dispositivo, mas fique de olho nos processos que abrem HKLM \ SYSTEM \ ControlSet001 \ Control \ DeviceClasses \ keys e procure palavras-chave como "USB # VID". Pressionar Ctrl + F e pesquisar a string "USB # VID" deve encontrar processos com essa chave aberta.
Se você quiser saber exatamente o que o seu dispositivo USB é chamado para o Windows, abra o Gerenciador de dispositivos, encontre sua webcam lá, clique duas vezes nela e clique na guia Detalhes. Na caixa suspensa dessa página, vá para IDs de hardware ou confira alguns dos outros detalhes nessa caixa suspensa e veja se você pode associá-lo a um processo no Process Explorer.
Editar: esqueci de mencionar que este procedimento só funciona enquanto o processo ainda está usando a webcam (ou seja, a luz ainda está acesa)