Para complementar a resposta de Ochi, esta é uma maneira de criar 100 arquivos de 10 MB sem usar 1 GB de espaço em disco e rodando na velocidade da luz:
size=$((10*1024*1024))
nb_files=100
for n in $(seq -f "%03.0f" 1 $nb_files); do
dd if=/dev/zero of=file$n bs=1 count=1 seek=$((size-1))
done
(Veja arquivos esparsos para mais detalhes.)
Ou de outra forma (mas aqui, se você editar um dos arquivos, edite-os todos):
size=$((10*1024*1024))
n=$(seq -f "%03.0f" 1 1)
dd if=/dev/zero of=file$n bs=1 count=1 seek=$((size-1))
nb_files=100
for m in $(seq -f "%03.0f" 2 $nb_files); do
ln file$n file$m
done
(Veja links físicos para mais detalhes.)