Para deixar o "if" em branco - o script está usando alta CPU porque está completando a verificação "if" e então está se movendo muito rapidamente porque e not ebing disse para parar e sua CPU está passando as instruções o mais rápido possível.
Acho que o que você está procurando é o comando sleep
:
If colProcesses.Count = 0 The
WScript.Sleep(10000)
Else
Esse número é Milissegundos (1000 = 1 segundo) e é por quanto tempo o processo será pausado. No exemplo acima, ele pausa por 10 segundos.