O 667 MHz provavelmente será subclado para 533 MHz pela placa-mãe. Assim, você pode melhorar o desempenho modificando o chip de 533 MHz para um de 667 MHz.
Você não perceberá melhorias na CPU, HDD que eu conheço.
É melhor substituir o HDD por um SSD se quiser aumentar a velocidade.