É bem improvável que você tenha danificado alguma coisa. Sem CPU, a maioria das motherboards não dá a PSU a luz verde para a inicialização de qualquer maneira, então apenas a energia de espera foi aplicada, o que é muito pouco.
Eu tentei inicializar placas-mãe com uma CPU ausente ou mal encaixada várias vezes. Nunca houve qualquer dano por causa disso, a menos que houvesse um curto-circuito real em algum lugar dentro do computador. Isso geralmente resultou em fumaça ou um disjuntor estourado (ou ambos).