"CSM" e "legado" são sinônimos neste contexto, portanto, -10 pontos para maior clareza para quem escreveu a interface do usuário do seu firmware. Como você deseja instalar no modo EFI, a opção "UEFI" faz mais sentido; se os nomes forem realmente descritivos de seus efeitos, isso forçará o computador a inicializar no modo EFI, que é o que você deseja. A opção "UEFI ou Legacy OS" também pode funcionar, mas é mais problemática - realmente não há como saber em qual modo o instalador do Windows será inicializado. Se inicializar no modo EFI / UEFI, o efeito será idêntico ao uso da opção "UEFI"; mas se inicializar no modo BIOS / CSM / legado, você estará desperdiçando seu tempo. Você definitivamente deve evitar a opção "Legacy". Uma ressalva: muitas opções de interface de firmware são muito mal-nomeadas, então você pode descobrir que essas opções não têm os efeitos que elas parecem descrever.
Eu não sei de improviso o que o instalador do Windows faz quando confrontado com um disco MBR durante uma instalação no modo EFI. Pode funcionar bem, especialmente se o disco não tiver partições; mas se você quiser ter 100% de certeza de que está instalando no modo EFI, talvez queira pré-particionar o disco usando o GPT. Pessoalmente, eu usaria um live CD do Linux para isso, como Parted Magic ou System Rescue CD; mas se você não se sentir confortável com o Linux, talvez prefira usar um disco de emergência do Windows e ferramentas do Windows. De qualquer forma, verifique se o disco usa o GPT e o instalador do Windows pode cuidar do resto.