A precisão do uso da CPU vem da retenção do estado da CPU entre as leituras, de modo que o uso durante todo o período seja obtido. A maioria das soluções obtém apenas o uso de quando a leitura é feita, ou a média é feita em períodos arbitrários.
Se você realmente precisa de precisão, precisa medir com muita frequência e centralizar os resultados. Dessa forma você pode até detectar picos. Dependendo de muitos fatores, observe que não é de forma alguma anormal para o uso da CPU não exceder 25%.
Para processos, você terá que usar os PIDs. Veja algumas soluções práticas aqui .