Aqui está o que eu encontrei. O Procmon.exe de 32 bits contém o exe de 64 bits dentro dele como um recurso binário. Quando o exe de 32 bits é iniciado, ele extrai a versão de 64 bits para um arquivo oculto chamado Procmon64.exe e, em seguida, executa isso. Por algum motivo, este processo falha em algumas instalações do Windows 7.
Consegui extrair o exe de 64 bits usando o Visual Studio 2010.
- Abra o Visual Studio e abra o arquivo Procmon.exe usando o menu Arquivo- > Abrir- > Arquivo ...
- Na árvore de recursos, expanda o nó "BINRES"
- Clique com o botão direito do mouse no nó 1308 e selecione Exportar ...
- Nomeie o recurso exportado Procmon-64.exe e salve
- Executar o exe extraído
Não nomeie o Procmon64.exe exe extraído (sem hífen) porque o Procmon de 32 bits tentará excluí-lo se tiver a chance.
Se você não tiver o Visual Studio, use um extrator de recursos executáveis do Windows como o ResourcesExtract - link