OK, a razão pela qual o Backup do Windows Server está falhando é devido ao tamanho do cluster que você está usando no volume. (E vou explicar exatamente por que isso está no fim, depois da importante questão de sua matriz RAID ser uma bomba-relógio).
Mas antes de abordar o problema de backup, precisamos resolver o problema com sua configuração de RAID.
Não use o RAID5 com discos grandes. E você não usa o RAID5 com matrizes com muitos membros. Com apenas um disco de paridade, é praticamente certo que você execute um URE (erro de leitura irrecuperável) ou outra falha de disco com muitos discos grandes, para que não haja redundância real. Se você tiver que usar o RAID de paridade, use o RAID6, mas, mesmo assim, o RAID de paridade vem com sérios inconvenientes, então pense muito antes de estabelecer um parity RAID.
Eu recomendaria quebrar esse array de 20 TB e recriá-lo no RAID 10. Você obterá um desempenho muito melhor e redundância real para seus dados. Como você está usando apenas 1 TB de qualquer maneira, você ainda tem 9 TB sobrando para o crescimento futuro, e, francamente, se você acertar isso, você precisa estar olhando para um dispositivo NAS dedicado ou servidor de armazenamento.
Uma vez que você tenha seu array RAID em um estado razoável, você resolverá este problema também, porque ele será menor do que o 16 TiB que está atualmente reclamando. Mas, se você quiser saber, não é o tamanho da matriz com a qual tem um problema, é o número de clusters. Você precisa ter menos de 2 ^ 32 clusters no volume que está fazendo backup. Altere o tamanho do seu cluster de 4 KB para 8 KB e você deve estar pronto.
Para verificar o tamanho do seu cluster, use:
fsutil fsinfo ntfsinfo F:
E você deve receber algo como o screenclip abaixo.
Sevocêestácuriosodeondevemessenúmerode16TiB,