No Linux, isso geralmente se deve ao alto ThreadsPerChild + ulimit -s alto ou ilimitado.
No Linux, o tamanho da pilha padrão para cada encadeamento é o valor ulimit -s ou 8-10 megabytes - o Apache precisa de cerca de 512 kilobytes de espaço de pilha ou menos em uso normal.
Isso rapidamente sobrecarrega o tamanho do espaço de endereçamento de 32 bits com o TPC próximo de 200+ ou, se você tiver limites de memória do sistema, pode entrar em conflito com eles também.
Defina ulimit -s 512 no seu arquivo "envvars" enviado junto com o apachectl - note que o ThreadStackSize não ajuda aqui porque isso define um mínimo.