Não sei sobre a velocidade, mas aqui está o que acredito que rodar o ZFS no RAID significa:
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Você perde os benefícios das gravações atômicas porque agora o controlador RAID tem a última palavra sobre quando uma gravação acontece no disco. O que significa que você confia nos controladores RAID NVRAM.
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O ZFS também pode ser enganado se os dados forem escritos inporperly, o ZFS teria que usar a palavra dos controladores RAID para isso.
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Você também perderia os arquivos de reparo porque, do ponto de vista do ZFS, você tem um único disco, se a integridade dos dados estiver ruim, o ZFS não terá como repará-lo porque não há segunda cópia. (supondo que você não defina cópias = 2)
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Se as unidades RAID ficarem fora de sincronia, a unidade RAID poderá levar algum tempo para sincronizar, dependendo da capacidade de registro em diário. O ZFS redimensionará os dados que encontrar incorretamente e pelo menos alguns sistemas operacionais poderão executar um resilver periodicamente para garantir a integridade. Novamente, porque o RAID exibirá apenas uma unidade para o ZFS, o ZFS não pode ajudar com o reparo / reconstrução.
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Você seria capaz de expandir o RAID (se o RAID tiver capacidade) e talvez reconstruir os dados do ZFS em mais unidades. (Para mim não é uma grande vantagem considerando os negativos até agora.)
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É claro que toda a funcionalidade de instantâneos do ZFS não seria afetada (supondo que os dados não sejam corrompidos silenciosamente).
Hardware RAID quase negaria quaisquer vantagens que o ZFS teria. Pessoalmente, eu não recomendaria usar nada sob o ZFS, eu executaria o ZFS no bare metal.
No entanto, se houver uma vantagem que não considerei, estou aberto a ouvi-la.