Uma das vantagens de usar o formato de arquivo de log binário é que ele captura dados para processos iniciados após o arquivo de log ter iniciado (não é o caso do CSV.)
Naturalmente, você obterá muitos dados extras sobre todos os processos com os quais não se preocupa - você pode atenuar isso agendando uma tarefa de perfmon que é executada apenas na época em que o Foo.exe é executado. Você também pode usar um script para filtrar os dados apenas para o processo usando logparser.