Você pode ver isso onde o apache está usando semáforos IPC, provavelmente de um módulo do apache.
Se ele falhar, ele não limpará o semáforo que permanece permanentemente atribuído ao sistema, pelo menos até a reinicialização.
Execute ipcs
e você provavelmente verá muitas coisas de propriedade do apache.
Você pode usar o comando ipcrm
para limpá-lo.