O seu plano atual é o caminho que eu vou seguir também, embora possa entrar em um palanque por um momento:
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É por isso que cada servidor razoavelmente moderno que vi de um OEM de qualidade tem 6 ou mais compartimentos de unidade - 2 para uma unidade RAID espelhada para colocar o sistema operacional e os programas instalados, e 4 para um RAID 5/6/10 com seus dados. Então você não precisa reinstalar tudo quando precisar adicionar capacidade de armazenamento.
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Não é mais 1999, não use o RAID 5 em produção. Atualizá-lo para um RAID 6 ou 10. (Enquanto você está de qualquer maneira, certo?)
De qualquer forma, outra opção é forçar a matriz RAID a ser reconstruída em discos maiores, puxando os discos um de cada vez, substituindo-os por um disco de maior capacidade e aguardando a reconstrução ser concluída ... até que todos os seus discos sejam mais capacidade. Nesse ponto, com a maioria das placas RAID, mais novas, boas placas RAID, de qualquer forma, você pode expandir a matriz para incluir o restante do espaço utilizável nas unidades.
Pode ser problemático porque é RAID5, portanto há uma chance de UREs (Unrecoverable Read Errors), porque a reconstrução a partir da paridade demora muito, então você provavelmente estará aguardando ~ um dia de trabalho por disco para a reconstrução e porque o cartão RAID em questão pode ou não suportar isso, ou pode não suportar bem isso.
Na minha experiência, normalmente é mais fácil, mais rápido e menos trabalhoso apenas fazer o que você propôs.
A outra vantagem de substituir toda a matriz de uma só vez é que, se as coisas ficarem ruins, você sempre poderá colocar os discos antigos de volta e retornar as coisas para o estado antigo muito rapidamente. Se você reconstruir o array com um disco de cada vez, isso geralmente não é uma opção, porque você acabará com dados inconsistentes nos discos originais e não terá um array funcional se os colocar de volta. Não subestime o valor de "jogar pelo seguro" nesta profissão.