Não se preocupe, é apenas caching de arquivos do linux, não está diretamente ligado ao Apache:
O Linux está armazenando arquivos em cache como os que você acessa diretamente da memória em vez do disco rígido, aumentando muito as performances.
No Debian 6 e amp; 7 minha memória sempre foi usada para cachear, no Debian 8 parece que eles reduziram o tamanho do caching, então ainda há RAM livre disponível.