Eu capturaria os dados com um Monitor de Desempenho "Data Collector Set", depois analisaria a saída (se quisesse algo rápido e sujo) ou executaria a ferramenta da Microsoft (PAL). (Eu não posso dizer que o PAL terá um modelo para fazer exatamente o que você quer, mas se você está disposto a gastá-los com o tempo, é uma ferramenta bastante flexível.) Registrar o objeto "Process" deve dar a você o que você precisa , em termos de dados brutos.
Eu me inclino para o PerfMon porque, na raiz, você está procurando por dados de séries temporais. É exatamente isso que o PerfMon faz. As outras ferramentas que você mencionou não geram dados simples de séries temporais, e você precisaria fazer uma análise significativa da saída para obter os dados.Seu sucesso com o PerfMon será baseado na análise dos dados. Reunir os dados não é problema, mas você provavelmente terá que fazer algum trabalho para obter informações acionáveis a partir desses dados.
Editar:
O objeto "Process" não leva o usuário ou a arquitetura (x64 x x86) do processo. Para isso, recomendamos ativar o acompanhamento do processo de auditoria . Seu log de eventos incluirá o caminho completo do executável e o usuário iniciando o processo. É mais dados para correlacionar, com certeza, mas você conseguiria o que você precisa.