Para o WWF, você pode adicionar algumas contagens de desempenho por sua exigência de monitoramento de integridade. Depende de como o seu programa lida com as exceções do fluxo de trabalho. Esta lista descreve os contadores de desempenho do WWF: link . Se a sua solução usar o método de interrupção para lidar com a falha do fluxo de trabalho, eu gostaria de sugerir as contagens 'Fluxos de Trabalho Abortados' e 'Fluxos de Trabalho Abortados / s'.
Para o IIS, eu pessoalmente acho que o monitoramento de integridade do wcf deve cobrir o status de integridade do IIS, a menos que o WCF seja auto-hospedado. Nesse caso, aqui está a lista de contadores de desempenho do IIS sugeridos pela Microsoft ( link ).