Instale as ferramentas perf usando:
sudo apt-get install linux-tools
Você pode executar o perf em um executável usando o evento apropriado usando o sinalizador -e, por exemplo, para medir os ciclos da CPU no uso do comando ps:
perf stat -e cycles ps
Para ver quais eventos estão disponíveis, use:
perf list
.. alguns são eventos de software e alguns são eventos de hardware como os que você estava se referindo.
Existe uma excelente documentação em: link
Espero que ajude!