A documentação para a implementação do /proc no Linux está em Documentation/filesystems/proc.txt no kernel documentação.
Tenha em atenção que /proc é uma das áreas em que os ixes diferem mais. Ele começou como um recurso específico do System V, foi então muito estendido pelo Linux e agora está no processo de ser preterido por itens como /sys . Os BSDs - incluindo o OS X - não o adotaram. Portanto, se você escrever um programa ou script que acesse as coisas em /proc , há uma boa chance de não funcionar em outros * ixes.