Eu faria isso de uma maneira diferente - especificamente, usando uma pesquisa em profundidade no lugar do shell globstar **
Por exemplo, usando o GNU find
, dado:
$ tree
.
└── dir
├── foo
│ └── baz
│ └── MainFoo.c
└── Foo
├── baz
└── MainFoo.c
5 directories, 2 files
então
find . -depth -iname '*foo*' -execdir rename -- 's/Foo/Bar/;s/foo/bar/' {} +
resulta em
$ tree
.
└── dir
├── bar
│ └── baz
│ └── MainBar.c
└── Bar
├── baz
└── MainBar.c
5 directories, 2 files