Não há regra geral de que tais sistemas de arquivos tenham ou não superblocos e tabelas de inodes. Para os que você listou, não acho que exista algo que possa ser chamado de superbloco ou de uma tabela de inodes. Esses sistemas de arquivos são, em certo sentido, construídos instantaneamente à medida que você os percorre; em particular, os dados que podem aparecer via arquivos não são armazenados em um arquivo. Acessar um arquivo em /proc , /sys ou um debugfs conecta-se a uma parte do kernel que gera ou analisa dados em tempo real. Como não há noção de bloco em que os dados seriam armazenados, não há noção de superbloco. E como a estrutura desses sistemas de arquivos é fixada pelo código do kernel (você não pode criar ou mover um diretório ou um arquivo), não há necessidade de algo como inodes.