Para citar systemd.netdev (5) :
The MAC address to use for the device. [...] This key is not currently suported for "tun" or "tap" devices.
De acordo com systemd commit e0fbf1fcffe014d5af6767b29f9108c2f2444888 , isso nunca foi possível. A partir do systemd v215, essa limitação não é mencionada na página manpage, que era um aparente bug na documentação dessa versão.