A resposta curta é sim, você pode, mas, por padrão, você só verá o aumento da capacidade depois de instalar todas as quatro unidades de 1 TB.
A resposta mais longa ainda é que você pode, e com algum trabalho você pode ver um aumento de capacidade sempre que quiser. Como você está usando o CentOS, eu vou com dispositivos MD em vez de ZFS.
(Eu estou indo supor que você tem backups aqui. Você provavelmente também vai querer usar o LVM em cima do MD para que você possa mesclar os dispositivos RAID.)
Digamos que suas quatro unidades de 500 GB são /dev/sda , /dev/sdb , sdc e sdd . Você cria um dispositivo MD RAID10, /dev/md1 , e usa isso para armazenamento (você pode particionar os dispositivos ou não, não faz diferença neste momento). O MD usa o menor dos dispositivos subjacentes para determinar a capacidade total, neste caso, duas vezes 500 GB ou seja, 1 GB no total.
Para substituir sda por uma unidade de 1 TB, você removeria sda da matriz e trocaria as unidades. Agora você tem duas opções: particionar o novo sda ou usar o dispositivo inteiro. Se você particionar o dispositivo, crie sda1 com pelo menos 500 GB e sda2 com o que sobrou. Em seguida, você pode adicionar sda1 à matriz e usar sda2 como está até obter uma nova unidade.
O segundo passo seria substituir sdb ; você prosseguirá como acima, terminando com sdb1 na matriz e sdb2 . Agora você pode criar uma matriz RAID1 com sda2 e sdb2 , o que lhe dá um total de aproximadamente 1,5 TB com espelhamento em tudo.
O terceiro passo seria substituir sdc ; você acaba com sdc2 , que pode ser usado separadamente do resto.
O último passo seria substituir sdd . Agora você pode simplesmente adicionar sdd ao seu array RAID10, junto com sdc ; Dessa forma, você pode aumentar o array para 2 GB (possivelmente perdendo sda1 e sdb1 para fazer isso). Em seguida, adicione novamente sdb e sda e você terá uma matriz RAID10 de 2 GB em todas as quatro unidades.
Existem, sem dúvida, outras maneiras de fazer isso, mas pelo menos agora você sabe que é possível ...