Você pode usar o Process Monitor para fazer isso. Nos filtros, defina um filtro de Nome do processo para o nome do processo em que você está interessado, defina um filtro de operação para conter WRITE e um filtro de resultado para SUCESSO. Agora, enquanto o Process Monitor estiver em execução, ele gravará gravações feitas pelo processo que você informou para efetuar o log.
Quando você coletar seus dados, vá para Ferramentas > Resumo do arquivo e ele fornecerá um resumo de todas as atividades do sistema de arquivos registradas. Desde que você disse para gravar apenas gravações para um processo, o resumo será um resumo das gravações feitas por esse processo.