Arquivos de 0 byte ainda usam espaço; Cada arquivo usa pelo menos um inode. Na documentação do tmpfs, o número padrão de inodes para tmpfs (nr_inodes) é metade do número de páginas RAM físicas (que são tipicamente 4K). Eu suspeito que você tenha cerca de 8MB de memória no seu dispositivo?
Pode ser possível aumentar o número de inodes disponíveis, se é isso que você deseja, emitindo como root:
mount -o remount -o nr_inodes=7200 /tmp
Normalmente, o número de inodes usados em um sistema de arquivos é insignificante o suficiente para não ser considerado "df".