Por padrão, o Process Monitor armazena tudo, incluindo eventos visíveis e invisíveis (ocultos por filtros) na memória virtual. Isso também é claramente indicado na barra de status: "Apoiado pela memória virtual".
Para descartar eventos invisíveis completamente, você pode ativar a opção “Drop Filtered Events” no menu “Filter”. Dependendo de quão restritos são seus filtros, isso reduzirá bastante a quantidade de dados.
Para armazenar dados no disco em vez de memória, você pode usar o diálogo “Backing Files”, disponível no menu “File”. Naturalmente, isso reduzirá o desempenho do Process Monitor.