Você poderia usar o Powershell, existem várias opções dependendo do que você deseja fazer:
Para registrar a% da CPU de um processo específico:
PS C:\Users\mmoor> $A=Get-Process
PS C:\Users\mmoor> $A[0].Name
AcroRd32
PS C:\Users\mmoor> $A[0].CPU
3.9156251
PS C:\Users\mmoor> "$($A[0].Name) --- $($A[0].CPU)" >> .\ProcessCPU.Log
Você também pode enviar a saída de Get-Process para um arquivo:
PS C:\Users\mmoor> Get-Process >> .\ProcessCPU.Log
Você pode criar uma tarefa de agendamento que execute um script como este automaticamente.