Esses erros são vistos quando o recurso está ocupado e é usado por algum outro aplicativo. Você precisa se certificar de que não é usado por qualquer aplicativo. Desative todas as máquinas virtuais, reinicialize o ESXi e vá para o modo CLI. Vá para o diretório que contém o arquivo que você deseja trabalhar e, a partir daí, você poderá excluir o arquivo.