Pode ser um problema de espaço em disco insuficiente ou de permissões na estrutura do arquivo.
Por padrão, um sparsefile é criado durante a extração como uma espécie de diretório de trabalho ou de rascunho. O sparsefile permite uma extração mais rápida normalmente, com a troca sendo que todo o processo precisa de mais espaço em disco. Isso é excluído quando o processo é concluído.
Usando a opção --no-sparsefile , diz xz --decompress (ou unxz , que é a mesma coisa) para descompactar o arquivo sem usar um arquivo esparso.