Um atraso constante de 100 ms parece estranho. Parece que os pacotes ficam em buffer e não são entregues imediatamente. Ou talvez alguns deles sejam descartados e retransmitidos. Você pode executar o tcpdump neste interface para mostrar o problema? Eu não sei como a pilha IP funciona no FreeBSD, nem como o CARP é implementado, mas seria possível, por exemplo, que o slave regularmente anuncia seu endereço MAC com ARPs gratuitos e que o master envie pacotes para cada lado?
Você poderia também executar o tcpdump na interface real para garantir que nada seja emitido?
É possível que o sistema evite o armazenamento em cache de uma entrada ARP do dispositivo CARP, fazendo com que uma solicitação ARP seja emitida para cada pacote de uma sessão, que o daemon CARP teria que responder?
A maioria dessas ideias é estúpida, mas é para ajudar você a pesquisar na direção certa.