^ 0 é apenas uma representação do ASCII 0 - se você usar man ascii , verá a coluna da direita alinhada com os valores da esquerda, uma maneira fácil de recuperar os caracteres de controle. Infelizmente, 0 é frequentemente usado para cargas de ataque de preenchimento nulo (supondo que você já descartou um problema no sistema de arquivos).
A coisa mais importante é o que foi a preposição desse lixo: foi uma URL de script, um recurso estático, um módulo etc.? Alguém está tentando explorar seu sistema ou fuzzing random systems procurando por exploits.
O fato de você ter uma falha significa que algo foi bem-sucedido - pelo menos em causar a falha. É um DoS, pelo menos, e muitas vezes uma falha (especialmente quando eles estão tentando sobrecarregar buffers como esse) pode levar a uma pilha de quebra e execução de código de exploração. Isso é ruim, mas não é certo que você foi explorado (como outros disseram, verifique se há rootkits). Se for um certo padrão de repetição, você pode usar uma correspondência de cadeia de caracteres iptables para evitar que ela chegue ao Apache, mas se o seu apache estiver atualizado, você deve relatar a exploração à segurança do Apache também.