Sim, você pode usar o UUID com o raid de software do Linux.
Mas, em vez de usar o UUID do sistema de arquivos (que pode aparecer como não exclusivo no caso de espelhamento de invasão de software), você deve usar o UUID do dispositivo RAID no seu /etc/fstab , pois ele será exclusivo.
mdadm --detail /dev/md0
exibirá o UUID do dispositivo de bloco /dev/md0 .
Acho que blkid deve mostrar o mesmo.