Procure no Gerenciador de Tarefas e adicione uma coluna para Handles. Se ele tiver um número muito baixo de handles (menos de 10? Freqüentemente 1), o processo está morto e não está sendo executado, mas não pode descarregar porque algo tem um identificador para ele.
Quando aconteceu comigo, tive que encontrar o processo que o lançou e fechar o pai. Talvez você possa usar o Procexplorer e encontrar o identificador e liberá-lo manualmente?