Depende do que seus scripts PHP estão fazendo. Mas 5
é realmente um número baixo para processos PHP. Normalmente o processo PHP abrirá conexão com o MySQL (leva tempo), espere o MySQL processar a consulta (leva tempo), então ele não estará usando CPU o tempo todo e com apenas 5 processos a CPU pode ficar ociosa em alguns momentos, mas não haverá outro processo PHP para usá-lo. Assim, você pode aumentar com segurança o limite para pelo menos 20 a 30 (ou mais, dependendo de como você recebe as solicitações).
Com relação à pergunta sobre o uso da CPU. Ter processos PHP mais ativos ao mesmo tempo não aumentará o uso da CPU. Toda a potência da CPU que você tem disponível será dividida entre os processos em execução.