Algumas coisas que você pode tentar:
- Execute o Process Monitor e filtre o arquivo em questão
- Executar o rastreamento de solicitações com falha no IIS
- Execute o chkdsk na unidade em que o arquivo está localizado.
- Copie o conteúdo do arquivo para um novo arquivo, exclua o arquivo antigo, renomeie o novo arquivo para o nome antigo.